HIGH ASPECT RATIO TIP ATOMIC FORCE MICROSCOPY CANTILEVERS AND METHOD OF MANUFACTURE

The present invention provides a method for the selective growth of single carbon nanotubes (CNT) on the tip apex of a conventional cantilever. Selective CNT growth is established by coating the backside (8) of a cantilever, having a through-hole a tip apex, with a catalyst material followed by a co...

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1. Verfasser: SCHLAF, RUDIGER
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention provides a method for the selective growth of single carbon nanotubes (CNT) on the tip apex of a conventional cantilever. Selective CNT growth is established by coating the backside (8) of a cantilever, having a through-hole a tip apex, with a catalyst material followed by a cover layer. The exposed catalyst at the bottom of the hole at the apex of the cantilever induces growth of a single CNT at this location. La présente invention concerne un procédé permettant la croissance sélective de nanotubes de carbone simples sur l'extrémité de la pointe d'un cantilever classique. La croissance sélective de nanotubes de carbone simples est obtenue par l'application d'une matière catalytique puis d'une couche de recouvrement sur la face arrière d'un cantilever, présentant un trou traversant au niveau d'une extrémité de pointe. Le catalyseur exposé au fond du trou au niveau de l'extrémité du cantilever provoque la croissance d'un nanotube de carbone simple à cet emplacement.