STRUCTURE AND PROGRAMMING OF LASER FUSE

A method and structure for fabricating a laser fuse and a method for programming the laser fuse. The laser fuse includes a first dielectric layer having two vias filled with a first self-passivated electrically conducting material. A fuse link is on top of the first dielectric layer. The fuse link electrically connects the two vias and includes a second material having a characteristic of changing its electrical resistance after being exposed to a laser beam. Two mesas are over the fuse link and directly over the two vias. The two mesas each include a third self-passivated electrically conducting material. The laser fuse is programmed by directing a laser beam to the fuse link. The laser beam is controlled such that, in response to the impact of the laser beam upon the fuse link, the electrical resistance of the fuse link changes but the fuse link is not blown off. Such electrical resistance change is sensed and converted to digital signal. L'invention concerne un procédé et une structure destinés à la fabrication d'un fusible laser et un procédé destiné à la programmation de ce fusible laser. Ce fusible laser comprend une première couche diélectrique comportant deux trous d'interconnexion remplis d'un premier matériau électroconducteur auto-passivé. Une liaison fusible est située en dessus de la première couche diélectrique. Cette liaison fusible relie électriquement les deux trous d'interconnexion et comprend un deuxième matériau dont la résistance électrique varie lorsqu'il est exposé à un faisceau laser. Deux mesas sont situés en dessus de la liaison fusible et directement en dessus des deux trous d'interconnexion. Les deux mesas comprennent chacun un troisième matériau électroconducteur auto-passivé. Le fusible laser est programmé pour orienter le faisceau laser vers la liaison fusible. Le faisceau laser est contrôlé de façon que, en réponse à l'impact du faisceau laser contre la liaison fusible, la résistance électrique de la liaison fusible varie, mais la liaison fusible ne grille pas. Cette variation de résistance électrique est détectée et convertie en signal numérique.