TWO STAGE SCROLL VACUUM PUMP

Vacuum pumping apparatus includes a scroll set having an inlet and an outlet. The scroll set includes a first stationary scroll blade (164) and a second stationary scroll blade (170) extending from a stationary plate (16) and separated by a gap (178), and an orbiting scroll (32) extending from an orbiting plate (34), wherein the first and second stationary scroll blades are intermeshed with the orbiting scroll blade to define one or more interblade pockets. The vacuum pumping apparatus further includes a relief port (180) in the gap (178) between the first and second stationary scroll blades and coupled through a relief passage (200) to an exhaust (202), a relief valve (210) in the relief passage, and a drive mechanism operatively coupled to the orbiting scroll element for producing orbiting motion of the orbiting scroll blade relative to the first and second stationary scroll blades. L'invention concerne un appareil de pompage sous vide comprenant un ensemble en spirale présentant une entrée et une sortie. Ledit ensemble comprend une première lame en spirale stationnaire (164) et une seconde lame en spirale stationnaire (170) s'étendant d'une première plaque stationnaire (16) et séparée par un intervalle (178), et un élément en spirale orbital (32) s'étendant à partir d'une plaque orbitale (34), la première et la seconde plaque en spirale étant entrecroisées avec la lame en spirale orbitale de manière à définir une ou plusieurs poches interlames. L'appareil de pompage à vide comprend, de plus, un orifice de surpression (180) situé dans l'intervalle (178) entre la première et la seconde lame en spirale stationnaire et couplé par l'intermédiaire d'un passage de surpression (200) à un échappement (202), une vanne de surpression (210) située dans le passage de surpression, et un mécanisme de commande couplé de manière fonctionnelle à l'élément en spirale orbital, ce qui permet un mouvement orbital de la lame en spirale orbitale par rapport à la première et à la seconde lame en spirale stationnaire.