Z-AXIS ANGULAR RATE MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) SENSOR

An oscillatory angular rate MEMS sensor is described for sensing rotation about the "Z-axis". Embodiments are either coupled-mass tuning-fork or single oscillating-mass in nature. The sensor includes mechanical and electrical function integration, and is preferably manufactured by a unique...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	NENADIC, NENAD, NISTOR, VASILE, CHOJNACKI, ERIC P, STIRLING, NATHAN L, SHEN-EPSTEIN, JUNE P
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	GYROSCOPIC INSTRUMENTS MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS NAVIGATION PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS SURVEYING TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An oscillatory angular rate MEMS sensor is described for sensing rotation about the "Z-axis". Embodiments are either coupled-mass tuning-fork or single oscillating-mass in nature. The sensor includes mechanical and electrical function integration, and is preferably manufactured by a unique MEMS fabrication process. L'invention concerne un capteur MEMS de vitesse angulaire oscillante, destiné à détecter la rotation autour de "l'axe Z". Des modes de réalisations sont soit de type diapason à masse couplée, soit de type masse oscillante unique. Ce capteur comprend une intégration de fonctions mécaniques et électriques, et est de préférence fabriqué au moyen d'un procédé de fabrication MEMS unique.