HIGH-PRECISION FEEDBACK CONTROL FOR ION SCULPTING OF SOLID STATE FEATURES

The invention provides a method for controlled fabrication of a solid state structural feature. In the method, a solid state structure is provided and the structure is exposed to an ion beam, under fabrication process conditions for producing the structural feature. A physical detection species is d...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	PITTARO, RICHARD, J, STEIN, DEREK, M, FLORY, CURT, YEFCHAK, GEORGE, E, GOLOVCHENKO, JENE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention provides a method for controlled fabrication of a solid state structural feature. In the method, a solid state structure is provided and the structure is exposed to an ion beam, under fabrication process conditions for producing the structural feature. A physical detection species is directed toward a designated structure location, and the rate at which the detection species proceeds from the designated structure location is measured. Detection species rate measurements are fit to a mathematical model, and the fabrication process conditions are controlled, based on the fitted detection species rate measurements, to fabricate the structural feature. L'invention concerne un procédé de fabrication contrôlée d'une caractéristique structurelle solide. Au cours de ce procédé, une structure solide est exposée à un faisceau ionique, dans des conditions de procédé de fabrication afin de produire une caractéristique solide. Des espèces de détection physiques sont orientées vers un emplacement de structure désigné, et la vitesse à laquelle les espèces de détection proviennent de l'emplacement de structure désigné est mesurée. Les mesures de la vitesse des espèces de détection sont adaptées à un modèle mathématique, et les conditions du procédé de fabrication sont contrôlées en fonction des mesures de vitesse des espèces de détection adaptées, afin de fabriquer la caractéristique structurelle.