APPARATUS FOR MANIPULATION OF AN OPTICAL ELEMENT

The invention relates to an apparatus for manipulation of an optical element (7) in up to six degrees of freedom with respect to a structure (8) via at least three actuator devices (9). The actuator devices (9) each have at least two force-controlled actuators, which each produce an effective force...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LIPPERT, JOHANNES, MUEHLBEYER, MICHAEL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention relates to an apparatus for manipulation of an optical element (7) in up to six degrees of freedom with respect to a structure (8) via at least three actuator devices (9). The actuator devices (9) each have at least two force-controlled actuators, which each produce an effective force along one degree of freedom, with linking points (11) of the actuator devices (9) acting directly on the optical element (7). L'invention concerne un appareil pour manipuler un élément optique (7) dans jusqu'à six degrés de liberté par rapport à une structure (8) au moyen d'au moins trois dispositifs à actionneurs (9). Ces dispositifs à actionneurs (9) présentent chacun au moins deux actionneurs asservis en force qui produisent chacun une force effective le long d'un degré de liberté, des points de liaison (11) des dispositifs à actionneurs (9) agissant directement sur l'élément optique (7).