ACTUATOR ARRANGEMENT FOR ACTIVE VIBRATION ISOLATION COMPRISING AN INERTIAL REFERENCE MASS

Actuator arrangement with an actuator (8), a reference mass (22), a spring (24) and a first sensor (26; 42, 43; 32, 36). The actuator (8) applies a force between a first object (2) and to a second object (16; 54). The reference mass (22) is, in use, supported by a third object (16; 56) by means of the spring (24). The first sensor (26; 42, 43; 32, 36) generates a first distance signal that depends on a first distance (z2; z5,z6; z3,z4) between the reference mass (22) and the first object (2) and is applied to a controller (6) to actuate the actuator (8). Cet agencement actionneur comprend un actionneur (8), une masse de référence (22), un ressort (24) et un premier capteur (26; 42, 43; 32, 36). L'actionneur (8) applique une force entre un premier objet (2) et un deuxième objet (16 ; 54). En utilisation, la masse de référence (22) est soutenue par un troisième objet (16 ; 56) au moyen du ressort (24). Le premier capteur (26; 42, 43; 32, 36) génère un premier signal représentatif d'une distance ; le signal dépend d'une première distance (z2; z5,z6; z3,z4) entre la masse de référence (22) et le premier objet (2), le signal étant transmis à une unité de commande (6) afin d'actionner l'actionneur (8).