DARKFIELD INSPECTION SYSTEM HAVING A PROGRAMMABLE LIGHT SELECTION ARRAY

An inspection tool embodiment includes an illumination source for directing a light beam onto a workpiece to generate scattered light that includes the ordinary scattering pattern of the workpiece as well as light scattered from defects of the workpiece. The embodiment includes a programmable light selection array that receives light scattered from the workpiece and selectively directs the light scattered from defects onto a photosensor which detects the defect signal. Processing circuitry receives the defect signal and conducts surface analysis of the workpiece that can include the characterizing of defects of the workpiece. The programmable light selection arrays can include, but are not limited to, reflector arrays and filter arrays. The invention also includes associated surface inspection methods. Un mode de réalisation d'un outil d'inspection comprend une source d'éclairage qui dirige un faisceau lumineux sur une pièce pour produire une lumière diffusée comprenant le motif de diffusion habituel de la pièce ainsi que la lumière diffusée par les défauts de la pièce. Ce mode de réalisation comprend un réseau de sélection de lumière programmable qui reçoit la lumière diffusée par la pièce et dirige sélectivement la lumière diffusée par les défauts de la pièce sur un photodétecteur qui détecte le signal de défaut. Des circuits de traitement reçoivent le signal de défaut et soumettent la surface de la pièce à une analyse pouvant comprendre la caractérisation des défauts de la pièce. Les réseaux de sélection de lumière programmables peuvent comprendre, sans caractère limitatif, des réseaux de réflecteurs ainsi que des réseaux de filtres. Par ailleurs, L'invention décrit des procédés d'inspection de surface associés.