MODULAR ION SOURCE

A modular ion source design relies on relatively short modular core ALS components (100), which can be coupled together to form a longer ALS while maintaining an acceptable tolerance of the anode-cathode gap. Many of the modular components may be designed to have common characteristics so as to allow use of these components in ion sources of varying sizes. A flexible anode can adapt to inconsistencies in the ion source body and module joints to hold a uniform anode-cathode gap along the length of the ALS. A clamp configuration (110) fixes the cooling tube (108) to the ion source body, thereby avoiding heat-introduced warping to the source body during manufacturing. L'invention concerne un concept de source d'ions modulaire, basé sur des éléments sources à couche anodique (ALS) à noyau modulaire relativement court, ces éléments pouvant être mutuellement couplés pour former une ALS plus longue, tout en gardant la distance anode-cathode dans une tolérance acceptable. De nombreux éléments modulaires peuvent être conçus avec des caractéristiques communes de façon à être utilisés dans des sources d'ions de taille variable. Une anode souple peut s'adapter aux irrégularités du corps de la source d'ions et moduler des joints pour maintenir une distance anode-cathode uniforme sur la longueur de l'ALS. Un dispositif de serrage permet de fixer le tube de refroidissement sur le corps de la source d'ions, évitant ainsi le gauchissement dû à la chaleur du corps de source pendant la fabrication.