MODULAR UNIFORM GAS DISTRIBUTION SYSTEM IN AN ION SOURCE

A modular ion source design relies on relatively short modular anode layer source (ALS) components, which can be coupled together to form a longer ALS (200). For long ion sources, these shorter modular components allow easier manufacturing and further result in a final assembly having better precisi...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BURTNER, DAVID, MATTHEW, TOWNSEND, SCOTT, A, SIEGFRIED, DANIEL, E
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY HEATING LIGHTING MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLIDMATERIALS OR FLUIDS MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROMSOLID MATERIALS OR FLUIDS MECHANICAL ENGINEERING OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS PRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR PRODUCING MECHANICAL POWER SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATICTABLES OR JIGS TRANSPORTING WEAPONS WIND, SPRING WEIGHT AND MISCELLANEOUS MOTORS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A modular ion source design relies on relatively short modular anode layer source (ALS) components, which can be coupled together to form a longer ALS (200). For long ion sources, these shorter modular components allow easier manufacturing and further result in a final assembly having better precision (e.g., a uniform gap dimensions along the longitudinal axis of the ion source). Modular components may be designed to have common characteristics so as to allow use of these components in ion sources of varying sizes. A modular gas distribution system distributes a working gas to the ionization region of the module ion source. For each gas distribution module (202), gas distribution channels (220) and baffles (222) are laid out relative to the module joints to prevent gas leakage. Furthermore, gas manifolds (223) and supply channels are used to bridge module joints while uniformly distributing the working gas to the ALS. L'invention concerne une source d'ions modulaire utilisant des composants de source de couche anodique modulaire relativement courts qui peuvent être couplés pour former de plus longues sources de couche anodique. Pour les sources d'ions longues, ces composants modulaires plus courts facilitent le procédé de fabrication et fournissent un ensemble final plus précis (des dimensions d'espace uniformes le long de l'axe longitudinal de la source d'ions, par exemple). Des composants modulaires peuvent être conçus de manière à présenter des caractéristiques communes pouvant être utilisées dans des sources d'ions de dimensions variables. Un système de distribution de gaz modulaire distribue uniformément un gaz de travail vers la région d'ionisation de la source d'ions du module. Pour chaque module de distribution de gaz, des canaux de distribution de gaz et des chicanes sont disposées à proximité des joints de module pour éviter les fuites de gaz. Par ailleurs, des rampes d'alimentation en gaz et des canaux d'alimentation sont utilisés pour relier les joints de module et pour distribuer uniformément le gaz de travail aux sources de couche anodique.