ELECTRODE ARRANGEMENT, AND USE THEREOF

Es wird eine Elektrodenanordnung zum Entfernen von geladenen Teilchen beschrieben, bei der ein optisches Element (1) als erste Elektrode (10) geschaltet ist, das bei Beaufschlagung mit EUV-Strahlung und/oder weicher Röntgenstrahlung photoinduzierte Sekundärelektronen emittiert. Beabstandet zur bestrahlten Oberfläche des optischen Elementes ist eine zweite Elektrode (20) angeordnet, wobei mindestens die Oberfläche (la) der zweiten Elektrode (20) aus mindestens einem inerten Material besteht. Inerte Materialien haben den Vorteil, dass die Effektivität der Elektrode konstant bleibt und während des Entfernens geladener Teilchen selbst kein Material aus der Elektrodenoberfläche herausgeschlagen wird. Disclosed is an electrode arrangement for removing charged particles, in which an optical element (1) is connected as a first electrode (10) that emits photoinduced secondary electrons when impinged with EUV radiation and/or soft x-rays. A second electrode (20), at least the surface (1a) of which is made of at least one inert material, is disposed at a distance from the irradiated surface of the optical element. Inert materials have the advantage of allowing the effectiveness of the electrode to remain constant while preventing material from being knocked out of the electron surface during the removal of charged particles. Ensemble électrodes destiné à éloigner des particules chargées, dans lequel un élément optique (1) est connecté en tant que première électrode (10) qui émet des électrons secondaires photoinduits lorsque ledit élément optique est exposé à des rayons ultraviolets extrêmes et / ou à des rayons X mous. Une seconde électrode (20) est placée à un certain écart de la surface exposée aux rayons de l'élément optique, la surface (1a) au moins de la seconde électrode (20) étant constituée d'au moins une matière inerte. L'avantage des matières inertes est que l'efficacité de l'électrode reste constante et qu'aucune matière elle-même n'est expulsée de la surface de l'électrode pendant l'éloignement de particules chargées.