INSPECTION APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS IN TRANSPARENT SUBSTRATES
Methods, apparatus and systems for the detection of defects in transparent substrates such as glass sheets are disclosed. The methods, apparatus and systems are capable of detecting optical path length variations in transparent substrates smaller than 100 nm. La présente invention a trait à des proc...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | Methods, apparatus and systems for the detection of defects in transparent substrates such as glass sheets are disclosed. The methods, apparatus and systems are capable of detecting optical path length variations in transparent substrates smaller than 100 nm.
La présente invention a trait à des procédés, un appareil et des systèmes pour la détection de défauts dans des substrats transparents tels que des feuilles de verre. Les procédés, appareil et systèmes sont capables de détecter des variations de longueur de chemin optique dans des substrats transparents inférieures à 100 nm. |
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