DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING ELECTRIC CIRCUIT SUBSTRATES BY LASER

Zur Bearbeitung von elektrischen Schaltungssubstraten wird eine Laserquelle (1) mit einem diodengepumpten, gütegesteuerten, gepulsten Festkörper-Laser verwendet, der eine Laserstrahlung mit einer Wellenlänge zwischen 266 nm und 1064 nm, einer Pulswiederholrate zwischen 1 kHz und 1 MHz und einer Pulslänge von 30 ns bis 200 ns bei einer mittleren Laserleistung zwischen 0,1 W und ca. 5 W abzugeben vermag, wobei über eine Steuerung je nach Anwendungsfall vorgegebene Betriebsarten mit entsprechend unterschiedlichen Kombinationen von Laserleistung und Wiederholfrequenzen eingestellt werden können, um wahlweise mit dem gleichen Laser eine Bohrbetriebsart, eine Ablationsbetriebsart oder eine Belichtungsbetriebsart auszuführen. Mittels einer ebenfalls durch die Steuereinheit einstellbaren Galvospiegel-Ablenkeinheit wird der Laserstrahl auf dem Substrat entsprechend der jeweiligen Betriebsart abgelenkt. According to the invention, a laser source (1) with a diode-pumped, goods-controlled, pulsed solid body laser is used to process electric circuit substrates. The laser radiation of said laser has a wave length of between 266 nm and 1064 nm, a pulse repetition rate of between 1 kHz and 1 MHz and a pulse length of 30 ns - 200 ns for an average laser power rate of between 0.1 W and approx. 5 W. Predetermined operational modes with correspondingly different combinations of laser power and repetition frequencies can be adjusted by controlling each application in order to selectively provide a hole operation mode, an ablation operation mode or an illumination operation mode using the same laser. The laser beam is deflected to the substrate corresponding to the respective operation mode by means of an adjustable galvo mirror deflection unit and by the control unit. Pour traiter des substrats de commutation électrique, une source de rayonnement laser (1) à laser à corps solide pulsé, pompé par diode et à facteur de qualité contrôlé, est employée, ledit laser pouvant produire un rayonnement laser ayant une longueur d'onde comprise entre 266 nm et 1064 nm, une fréquence d'impulsions comprise entre 1 kHz et 1 MHz et une longueur d'impulsion de 30 ns à 200 ns pour une puissance laser moyenne comprise entre 0,1 W et environ 5 W. Selon l'invention, une commande permet, selon les conditions d'utilisation, à des types de fonctionnement prédéterminées d'être réglées avec différentes conditions correspondantes, afin de réaliser au choix avec le même laser, un type de fonctionnement de