COUPLED RESONATOR FILTERS FORMED BY MICROMACHINING

A resonator filter assembly is provided having a first wafer (102), a second wafer (104) and a third wafer (106). A plurality of pits are etched in the first and second wafer (102, 104) and arranged such that a plurality of resonant cavities (108) are formed with a coupling cavity (110) disposed bet...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KOH, PHILIP, J, NEMETH, DAVID, T
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRICITY RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE WAVEGUIDES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A resonator filter assembly is provided having a first wafer (102), a second wafer (104) and a third wafer (106). A plurality of pits are etched in the first and second wafer (102, 104) and arranged such that a plurality of resonant cavities (108) are formed with a coupling cavity (110) disposed between the resonant cavities (108). By altering the dimensions of the resonant and coupling cavities (108, 110), the frequency characteristics of the filter can be adjusted as desired. L'invention concerne un ensemble filtre à résonateurs présentant une première plaquette (102), une deuxième plaquette (104) et une troisième plaquette (106). Une pluralité de trous sont formés par attaque chimique dans les première et deuxième plaquettes (102, 104) et agencés de façon à former une pluralité de cavités résonnantes (108) entre lesquelles une cavité de couplage (110) est placée. La modification des dimensions des cavités résonnantes et de couplage (108, 110) permet de régler les caractéristiques de fréquence du filtre comme souhaité.