MEMS MEMBRANE BASED SENSOR

A micro-electro-mechanical system (MEMS) device is described having a membrane which can be induced to resonate and the frequency of its resonance can be monitored. Chemical moieties can be attached to the membrane, and these moieties can be selected such that they have an affinity for molecules of interest, especially biological molecules of interest. When molecules of interest bind to the moieties they increase the mass of the membrane and thereby change the frequency of the membrane's resonance. By monitoring the resonance one can obtain an indication of the presence of the molecules of interest and in some circumstances an indication of the approximate concentration of these molecules. In addition, several types of moieties having affinities for several different molecules of interest can be placed on the membrane in such a way that the sensor can detect the presence of several different types of molecules of interest and distinguish which ones may be present and which ones may be absent. L'invention concerne un système microélectromécanique (MEMS) comprenant une membrane qui peut être induite de façon qu'elle résonne à une fréquence qui peut être surveillée. Des fractions chimiques peuvent être fixées sur la membrane et sélectionnées de façon qu'elles présentent une affinité avec des molécules d'intérêt, notamment des molécules biologiques d'intérêt. Lorsque ces molécules d'intérêt se lient aux fractions, elles augmentent la masse de la membrane et, par conséquent, modifient la fréquence de la résonance de la membrane. La surveillance de la résonance permet d'obtenir une indication de la présence des molécules d'intérêt et, dans certaines circonstances, une indication de la concentration approximative de ces molécules. De plus, plusieurs types de fractions qui présentent des affinités avec différentes molécules d'intérêt peuvent être placés sur la membrane de façon que le capteur puisse détecter la présence de différents types de molécules d'intérêt et distinguer ceux qui sont susceptibles d'être présents et ceux qui sont susceptibles d'être absents.