PROCESS CONTROL AT AN INTERCONNECT LEVEL

A method and an apparatus for performing process control at an interconnect level. A process step upon a workpiece is performed. Manufacturing data relating to an interconnet location on the workpiece is acquired. An interconnect characteristic control process is performed based upon the manufacturing data. The interconnect characteristic control process includes controlling a process relating to a structure associated with the interconnect location on the workpiece to control a characteristic relating to the interconnect location. L'invention concerne un dispositif et un procédé pour le contrôle de processus à un niveau d'interconnexion. On conduit une étape de processus sur une pièce à travailler. Des données de fabrication relatives à un point d'interconnexion sur la pièce sont acquises. On conduit un processus de contrôle de caractéristique d'interconnexion sur la base des données de fabrication. Ce processus consiste à contrôler une opération liée à une structure associée au point d'interconnexion sur la pièce afin de contrôler une caractéristique relative au point d'interconnexion.