A METHOD OF SAMPLE PREPARATION FOR ATOM PROBES AND SOURCE OF SPECIMENS

A specimen for atom probe analysis is prepared by providing a slab of material from which the specimen will be taken; defining a plurality of posts in the slab by in the slab; removing at least one post from the slab; and mounting the post. The post is shaped to a tip shape suitable for use in the atom probe, such as by focused ion beam milling the post to a tip shape. Grooves are cross cut into the slab. If needed, each groove is filled with a supporting material prior to cutting a parallel or intersecting groove thereto. The invention is also defined as a source of specimens for use in atom probe sampling comprising a slab of material from which the specimen will be taken, which has been defined into a plurality of posts and from which slab at least one post is removed from the slab and mounted. Selon cette invention, un prélèvement pour analyse par sonde atomique est préparé selon un procédé consistant : à utiliser une plaquette de matériau à partir de laquelle l'échantillon sera prélevé ; à définir une pluralité de protubérances verticales dans la plaquette ; à enlever au moins une protubérance verticale de la plaquette ; et à monter la protubérance verticale. Cette protubérance verticale se présente sous la forme d'une pointe pouvant être utilisée dans la sonde atomique, par exemple par un faisceau ionique focalisé qui fraise la protubérance verticale de manière qu'elle prenne la forme d'une pointe. Des rainures sont creusées transversalement dans la plaquette. Si nécessaire, chacune des rainures est remplie d'un matériau de renfort avant qu'une rainure parallèle ou transversale soit creusée. Cette invention concerne également une source de prélèvements destinée à être utilisée dans un échantillonnage par sonde atomique comprenant une plaquette de matériau à partir de laquelle l'échantillon sera prélevé et qui a été définie en une pluralité de protubérances verticales et à partir de laquelle plaquette au moins une protubérance verticale est retirée de la plaquette puis montée.