ELECTROMIGRATION TEST DEVICE AND ELECTROMIGRATION TEST METHOD
Die Erfindung betrifft eine Elektromigrations-Testvorrichtung, welche eine Gleichstromquelle (101) und eine Wechselspannungsquelle (102) aufweist. Ferner weist sie einen Schaltkreis (104) mit einer leitfähigen Struktur (100) auf, welcher mit der Gleichstromquelle (101) und der Wechselspannungsquelle...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; ger |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | Die Erfindung betrifft eine Elektromigrations-Testvorrichtung, welche eine Gleichstromquelle (101) und eine Wechselspannungsquelle (102) aufweist. Ferner weist sie einen Schaltkreis (104) mit einer leitfähigen Struktur (100) auf, welcher mit der Gleichstromquelle (101) und der Wechselspannungsquelle (102) elektrisch gekoppelt ist und eine Messeinrichtung zum Messen eines elektrischen Parameters, welcher für Elektromigration in der leitfähigen Struktur indikativ ist. Die Wechselspannungsquelle (102) ist eingerichtet, dass sie die leitfähige Struktur (100), unabhängig von einem Gleichstrom, einem Wechselstrom aussetzt und so die leitfähige Struktur (100) auf eine vorgegebene Temperatur heizt.
The invention relates to an electromigration test device comprising a direct-current source (101) and an alternating voltage source (102). Said device also comprises a circuit (104) which has a conductive structure (100) and is electrically coupled to the direct-current source (101) and to the alternating voltage source (102), and a measuring device for measuring an electrical parameter which indicates electromigration in the conductive structure. The alternating voltage source (102) is controlled in such a way that it subjects the conductive structure (100) to an alternating current, independently of a direct current, thus heating the conductive structure (100 to a pre-determined temperature.
L'invention concerne un dispositif de test d'électromigration comprenant une source de courant continu (101) et une source de courant alternatif (102). Ce dispositif comprend par ailleurs un circuit (104) comportant une structure conductrice (100), ce circuit étant couplé électriquement à la source de courant continu (101) et à la source de courant alternatif (102), ainsi qu'un appareil de mesure servant à mesurer un paramètre électrique fournissant des indications concernant l'électromigration dans la structure conductrice. Selon l'invention, la source de courant alternatif (102) est réglée de telle sorte qu'elle soumette la structure conductrice (100), indépendamment d'un courant continu, à un courant alternatif de façon à chauffer ladite structure conductrice (100) à une température prédéterminée. |
|---|