METHOD OF FORMING ATOMIC FORCE MICROSCOPE TIPS
The invention relates to a method for forming silicon atomic force microscope tips. The method includes the steps of depositing a masking layer onto a first layer of doped silicon so that some square or rectangular areas of the first layer of doped silicon are not covered by the masking layer, etchi...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The invention relates to a method for forming silicon atomic force microscope tips. The method includes the steps of depositing a masking layer onto a first layer of doped silicon so that some square or rectangular areas of the first layer of doped silicon are not covered by the masking layer, etching pyramidal apertures in the first layer of doped silicon, removing the masking layer, depositing a second layer of doped silicon onto the first layer of doped silicon, the second layer of doped silicon being oppositely doped to the first layer of doped silicon and etching away the first layer of doped silicon. Further steps may be added to form the atomic force microscope tips at the end of cantilevers.
L'invention concerne un procédé de fabrication de pointes de microscope à forces atomiques. Ce procédé consiste à déposer une couche de masquage sur une première couche de silicium dopé de telle sorte que certaines zones carrées ou rectangulaires de la première couche de silicium dopé ne soient pas recouvertes par la couche de masquage; réaliser par attaque des ouvertures pyramidales dans la première couche de silicium dopé; retirer la couche de masquage; déposer une seconde couche de silicium dopé sur la première couche de silicium dopé, ladite seconde couche étant dopée de manière opposée par rapport à la première; et faire disparaître la première couche de silicium dopé. D'autres opérations peuvent suivre pour la réalisation de pointes de microscope à forces atomiques à l'extrémité des porte-à-faux. |
---|