TREATING AGENT FOR EXHAUST GAS CONTAINING METAL HYDRIDE COMPOUND AND METHOD FOR TREATING EXHAUST GAS CONTAINING METAL HYDRIDE COMPOUND

A treating agent for an exhaust gas containing a metal hydride compound, which comprises at least one of a metal hydroxide, a metal carbonate and a basic metal carbonate and, carried thereon, at least one metal of noble metals belonging to Group III of the Periodic Table and silver. The treating age...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	YATSUDA, MASANORI, SHIOYA, YASUSHI, TAKACHI, MINORU, WADA, HIROSHI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; jpn
Schlagworte:	CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TOTRANSPORTATION GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A treating agent for an exhaust gas containing a metal hydride compound, which comprises at least one of a metal hydroxide, a metal carbonate and a basic metal carbonate and, carried thereon, at least one metal of noble metals belonging to Group III of the Periodic Table and silver. The treating agent exhibits markedly improved performance capabilities compared to an agent free of a Group III metal or silver. The above treating agent has high performance capabilities for treating the exhaust gas and also undergoes a low exothermic reaction with a metal hydride, and thus is useful for treating an exhaust gas containing a metal hydride compound from a semiconductor manufacturing plant or the like. L'invention concerne un agent de traitement pour un gaz d'échappement. Cet agent contient un composé d'hydrure métallique qui comprend au moins un hydroxyde de métal, un carbonate de métal et un carbonate de métal basique, et supportés sur ces derniers, au moins un métal parmi les métaux nobles appartenant au groupe III de la table périodique et de l'argent. Cet agent de traitement présente des capacités de performance nettement améliorées par rapport à un agent dépourvu d'un métal du groupe III ou d'argent. Cet agent de traitement présente des capacités de performance élevées pour traiter le gaz d'échappement et il subit une faible réaction exothermique avec un hydrure métallique. Il permet ainsi de traiter un gaz d'échappement contenant un composé d'hydrure métallique à partir d'une usine de fabrication de semi-conducteurs ou similaires.