VACUUM PUMP CONTROL DEVICE, AND VACUUM DEVICE

A vacuum pump control device capable of suppressing a power consumption by a vacuum pump by varying the speed of the vacuum pump according to the operating conditions of a vacuum device, wherein a condition set part (4) sets a relation between the operating conditions of the vacuum device (10) and the rotational speed of the vacuum pump (2) for vacuating the vacuum device (10) to a proper value so that the rotational speed of the vacuum pump (2) does not reach a rotational speed more than that required, a control part (6) inputs external signals such as S1 to Sn in correspondence with the operating conditions of the vacuum device (10), reads the rotating speed of the vacuum pump (2) in correspondence with the external signals from the condition set part (4), and outputs the rotational speed, and an inverter (8) controls the rotational speed of the vacuum pump based on the output from the control part (6). L'invention concerne un dispositif de régulation de pompe à vide, conçu pour supprimer la consommation d'énergie d'une pompe à vide par rectification de la vitesse de la pompe à vide en fonction des conditions de fonctionnement d'un dispositif sous vide. Une unité de réglage des conditions (4) règle une relation entre les conditions de fonctionnement du dispositif sous vide (10) et la vitesse de rotation de la pompe à vide (2) de manière faire baisser la pression dans le dispositif sous vide (10) à une valeur appropriée de telle sorte que la vitesse de rotation de la pompe à vide (2) ne dépasse pas une vitesse de rotation nécessaire. Une unité de commande (6) entre des signaux externes tels que S1 à Sn qui correspondent aux signaux externes transmis par l'unité de réglage des conditions (4), puis elle génère une vitesse de rotation. Un convertisseur (8) régule la vitesse de rotation de la pompe à vide en fonction de la sortie générée par l'unité de commande (6).