POLARIMETRIC SYSTEM AND METHOD OF POLARIMETRIC MEASUREMENT OF THE REPRESENTATIVE PARAMETERS OF A SAMPLE

The invention concerns a polarimetric system and a method of polarimetric measurement of the representative parameters of a sample (7). The polarimetric system contains an excitation section (1) emitting a light beam (2). Said light beam passes through a polarisation state generator (PSG) (5) and is focused on the sample (7). After reflection on the sample surface (8), the beam goes through an analysis section (4) containing a polarisation state detector (PSD) or polarimeter (9) and detection means (10). According to the invention, the light beam (2) emitted by the excitation section (1) is in the spectral range from the far ultraviolet to the visible. The light beam propagates through the excitation section (1) up to through the analysis section (4) under a low partial pressure of far ultraviolet absorbing gases. The polarimetric system comprises at least an air tight chamber (17), said chambers containing said excitation section and said analysis section. L'invention concerne un système polarimétrique et un procédé de mesure polarimétrique de paramètres représentatifs d'un échantillon (7). Le système polarimétrique contient une section d'excitation (1) émettant un faisceau lumineux (2) traversant un générateur d'état de polarisation PSG (5) et étant focalisé sur l'échantillon (7). Après réflexion sur la surface d'échantillon (8), le faisceau traverse une section d'analyse (4) contenant un détecteur d'état de polarisation PSD ou un polarimètre (9) et des moyens de détection (10). Selon l'invention, le faisceau lumineux (2) émis par la section d'excitation (1) est dans une fourchette spectrale allant du rayonnement ultraviolet C au rayonnement visible. Le faisceau lumineux se propage à travers la section d'excitation (1) en amont vers la section d'analyse (4) sous une faible pression partielle de gaz d'absorption du rayonnement ultraviolet C. Le système polarimétrique comprend au moins une chambre étanche à l'air (17), ladite chambre contenant ladite section d'excitation et ladite section d'analyse.