CATHODE FABRICATION

This writing provides a method of fabricating a cathode requiring relatively few and somewhat simple steps. One embodiment provides a method of fabricating a cathode in which the passivation layer and the metallic gate chromium are masked and patterned simultaneously. The method effectuates patterni...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEE, JUENG-GIL, KEMMOTSU, HIDENORI
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:This writing provides a method of fabricating a cathode requiring relatively few and somewhat simple steps. One embodiment provides a method of fabricating a cathode in which the passivation layer and the metallic gate chromium are masked and patterned simultaneously. The method effectuates patterning of the passivation layer as necessary and simultaneously fixed a location for both access spots and inter-pixel electrical isolation areas to chromium constituting the metallic gate. Importantly, the present implementation effectively eliminates a conventionally requisite subsequent metallic gate chromium masking and etching step. La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une cathode qui ne nécessite que quelques étapes relativement simples. Dans un de ses modes de réalisation, l'invention concerne un procédé de fabrication d'une cathode dans laquelle la couche de passivation et le chrome de la grille métallique sont masqués et structurés simultanément. Ledit procédé consiste à effectuer une structuration de la couche de passivation selon les besoins et à fixer simultanément un emplacement destiné à la fois à des points d'accès et à des zones d'isolation électrique inter-pixels sur le chrome constituant la grille métallique. Le présent mode de réalisation s'avère important du fait qu'il permet d'éliminer efficacement l'étape ultérieure de masquage et de gravure du chrome de la grille métallique qui est traditionnellement nécessaire.