METHOD FOR LOCALIZED GROWTH OF NANOTUBES AND METHOD FOR MAKING A SELF-ALIGNED CATHODE USING THE NANOTUBE GROWTH METHOD

The invention concerns a method for controlled growth of nanotubes or nanofibres on a substrate, characterized in that it further comprises producing a two-layered structure on the substrate (11), consisting of a layer of material catalyzing (71) nanotube or nanofibre growth and a layer of associated material, said associated material being such that it forms a non-catalytic alloy with the catalyzing material at high temperature. The invention also concerns a method for making a field-effect cathode using said method for making nanotubes or nanofibres. Said methods enable to localize very accurately catalyst blocks from which can be grown nanotubes and nanofibres and for making cathodes for which the nanotubes or nanofibres are self-aligned with the opening in the extraction grid. The invention is applicable to electronic tubes, nanolithography. L'invention concerne un procédé de croissance contrôlée de nanotubes ou nanofibres sur un substrat, caractérisé en ce qu'il comporte en outre la réalisation d'une structure bicouche sur le substrat (11), composée d'une couche de matériau catalyseur (71) de croissance de nanotubes ou nanofibres et d'une couche de matériau associé, ledit matériau associé étant tel qu'il forme un alliage non catalytique avec le matériau catalyseur à haute température. L'invention concerne également un procédé de fabrication de cathode à effet de champ utilisant le procédé de fabrication de nonotubes ou nanofibres précédent. Ces procédés permettent de localiser très précisément des plots de catalyseur à partir desquels peuvent croître les nonotubes et nanofibres et de fabriquer des cathodes pour lesquelles les nanotubes or nanofibres sont auto alignées avec l'ouverture dans la grille d'extraction.