IMPROVED MATERIAL FOR USE WITH FERROELECTRICS

A liner layer comprising TiO2 enriched SRO is disclosed. The TiO2 enriched SRO liner improves the reliability of ferroelectric materials such as PZT without adversely impacting or degrading the ferroelectric properties of the PZT. The SRTO, in one embodiment is sputtered using an SRO target doped with 1-10% TiO2. La présente invention concerne une couche de revêtement comprenant de l'oxyde de ruthénium et de strontium enrichi d'oxyde de titanium. Le revêtement d'oxyde de ruthénium et de strontium enrichi d'oxyde de titanium améliore la fiabilité de matériaux ferroélectriques tels que le titanate zirconate de plomb sans affecter ou dégrader les propriétés ferroélectriques du titanate zirconate de plomb. Dans un mode de réalisation, l'oxyde de ruthénium et de strontium enrichi d'oxyde de titanium est pulvérisé à l'aide d'une cible d'oxyde de ruthénium et de strontium dopée avec de 1 à 10 % d'oxyde de titanium.