DUAL LAYER HARD MASK FOR EDRAM GATE ETCH PROCESS

A method of fabricating an integrated circuit chip having a first region of a first layout rule and a second region of a second layout rule. The method includes using a first material to establish a first hard mask pattern in only the first region and using a second material to establish a second ha...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	YU, CHIENFAN, WENSLEY, PAUL, DOBUZINSKY, DAVID, MARK, LIU, JOYCE, C, KHAN, BABAR, ALI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A method of fabricating an integrated circuit chip having a first region of a first layout rule and a second region of a second layout rule. The method includes using a first material to establish a first hard mask pattern in only the first region and using a second material to establish a second hard mask pattern on top of the first hard mask pattern. The second material is additionally used to establish a third hard mask pattern in the second region. L'invention concerne un procédé de réalisation de microplaquette à première région obéissant à une première modalité de disposition, et à seconde région obéissant à une seconde modalité de disposition. Le procédé consiste à utiliser un premier matériau pour établir un premier motif de masque dur seulement dans la première région, et à utiliser un second matériau pour établir un second motif de masque dur sur le premier motif de masque dur. Le second matériau est également utilisé pour l'établissement d'un troisième motif de masque dur dans la seconde région.