OPTICAL DISPLACEMENT SENSOR

An optical displacement sensor (10) is provided for optically measuring the static and dynamic displacement of one or more reflectors (110) that can be integrated in electronics and optics applications. The sensor includes an optically transparent substrate (140) and a reflective grating (100) deposited on the substrate. A light source (120) provides optical illumination on the reflector through the substrate and the reflective grating. The reflector is positioned over the substrate and over the reflective grating. Furthermore, one or more photo-detectors (130) are included to monitor reflected and diffracted light (160) from the reflector and the reflective grating. The position of the reflector can be adjusted by applying at least one DC voltage. An AC signal could be added to at least one DC bias voltage for calibration of the sensor. The present invention also includes an array of reflectors as well as a transmission grating to deflect the optical illumination to the array of reflectors. Un capteur (10) de déplacement optique est prévu pour mesurer optiquement le déplacement statique et dynamique d'un ou plusieurs réflecteurs (110) qui peuvent être intégrés dans des dispositifs électroniques ou optiques. Le capteur comprend un substrat (140) optiquement transparent et un réseau réfléchissant (100) déposé sur le substrat. Une source de lumière (120) produit une illumination optique sur le réflecteur à travers le substrat et le réseau réfléchissant. Le réflecteur est positionné au-dessus du substrat et au-dessus du réseau réfléchissant. En outre, un ou plusieurs photodétecteurs (130) sont inclus pour surveiller la lumière (160) réfléchie et diffractée par le réflecteur et le réseau réfléchissant. La position du réflecteur peut être ajustée par application d'au moins une tension CC. Un signal CA peut être ajouté à au moins une tension de polarisation CC pour étalonner le capteur. Cette invention concerne également un réseau de réflecteurs ainsi qu'un réseau de transmission permettant de dévier l'illumination optique sur le réseau de réflecteurs.