TESTING OF AN INTEGRATED OPTICAL DEVICE
An integrated optical device comprising a waveguide can be tested by forming a recess on the surface across the waveguide, and providing a discrete reflective device insertable into the recess. It is preferred that the reflective device is a prism, insertable into the recess so as to reflect light l...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | An integrated optical device comprising a waveguide can be tested by forming a recess on the surface across the waveguide, and providing a discrete reflective device insertable into the recess. It is preferred that the reflective device is a prism, insertable into the recess so as to reflect light leaving the waveguide. Suitable design of the prism permits the light to leave vertically if this is desired. The recess is preferably etched by any suitable etching process. It is preferred that the arrangement is employed for selective testing, in which the reflective device will be inserted into and out of the recess as desired or necessary. Accordingly, the reflective device can be supported on a moveable arm to allow its position to be controlled. This could be driven by servomechanical or piezoelectric means, or the like. A testing apparatus is also described, comprising a stage for an integrated optical device, a reflective device moveable towards the stage, and a light sensing device disposed to detect light reflected from the reflective device.
L'invention se rapporte à un dispositif optique intégré comportant un guide d'ondes et pouvant être testé par la formation d'un évidemment sur la surface à travers le guide d'ondes, par l'installation d'un dispositif réfléchissant discret qui peut être inséré dans l'évidement. De préférence, le dispositif consiste en un prisme pouvant être inséré dans l'évidement de manière à réfléchir la lumière qui sort du guide d'ondes. Un modèle convenable du prisme permet à la lumière de sortir verticalement le cas échéant. De préférence, cet évidement est attaqué par n'importe quel procédé d'attaque adéquat. De préférence également, ce dispositif est employé dans les essais sélectifs au cours desquels le dispositif réfléchissant sera inséré dans l'évidement puis ôté de ce dernier selon les souhaits ou les besoins. Par conséquent, ledit dispositif peut être soutenu au moyen d'un bras mobile de manière à pouvoir contrôler sa position. Il peut être commandé par des moyens servomécamiques ou piézoélectriques, ou analogues. L'invention a également trait à un appareil d'essai comportant un étage destiné à recevoir un dispositif optique intégré, un dispositif réfléchissant pouvant bouger en direction de l'étage, et un dispositif détecteur de lumière installé de manière à détecter la lumière réfléchie depuis le dispositif réfléchissant. |
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