MECHANISM FOR CONTAINMENT OF NEUTRON RADIATION IN ION IMPLANTER BEAMLINE

A mass analysis magnet assembly (16) is provided for use in an ion implanter (10), comprising: (i) a magnet (44) for mass analyzing an ion beam (15) output by an ion source (14), the magnet providing an interior region (49) through which the ion beam passes; and (ii) a neutron containment chamber (52) coupled to the magnet (44). The neutron containment chamber provides a containment space (58) in communication with the interior region (49) of the magnet (44), and a neutron absorbing wall (54) that in part defines the containment space. The neutron-absobing wall (54) is at least partially covered by a lining (56) capable of releasing neutrons when impacted by deuterons that are carried along with the ion beam (15) through the containment space (58). Preferably, the linning (56) is comprised of graphite, and the wall is comprised of either paraffin or polyethylene. The wall (54) includes portions (60) that either absorb neutrons released by the graphite lining (56) or substantially reduce the energies thereof. L'invention se rapporte à un ensemble magnétique (16) d'analyse de masse conçu pour être utilisé dans un implanteur ionique (10) et comportant: (i) un aimant (44) permettant l'analyse de masse d'un faisceau ionique (15) délivré en sortie par une source ionique (14), ledit aimant fournissant une région intérieure (49) à travers laquelle passe le faisceau ionique; et (ii) une chambre de confinement neutronique (52) couplée audit aimant (44). La chambre de confinement neutronique constitue un espace de confinement (58) en communication avec la région intérieure (49) de l'aimant (44), et elle comporte une paroi absorbant les neutrons (54) qui définit en partie l'espace de confinement. La paroi absorbant les neutrons (54) est au moins partiellement recouverte par un revêtement (56) capable de libérer des neutrons lorsqu'elle est soumise à l'impact de deutérons qui sont transportés conjointement au faisceau ionique (15) à travers l'espace de confinement (58). De préférence, le revêtement (56) est composé de graphite et la paroi est composée de paraffine ou de polyéthylène. Cette paroi (54) comprend des parties (60) qui peuvent soit absorber les neutrons libérés par le revêtement en graphite (56) soit réduire sensiblement l'énergie de ces neutrons.