CARRIER MONITORING AND FAB-WIDE CARRIER MANAGEMENT SYSTEMS
A system is disclosed capable of monitoring a plurality of performance characteristics of a wafer carrier on a load port (28), and to a system for managing carrier operation on a fab-wide basis. L'invention concerne un système permettant de contrôler une pluralité de caractéristiques de perform...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | A system is disclosed capable of monitoring a plurality of performance characteristics of a wafer carrier on a load port (28), and to a system for managing carrier operation on a fab-wide basis.
L'invention concerne un système permettant de contrôler une pluralité de caractéristiques de performances d'un support de plaquette sur un port de chargement, ainsi qu'un système de gestion de support à l'échelle de l'usine. |
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