ENVIRONMENTAL SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

The invention provides for a scanning electron or ion beam instrument capable of transferring the beam from a high vacuum chamber (8) into a high pressure chamber (5) via aperture (1) and aperture (2). The beam is deflected and scanned by coils (3) generally positioned between apertures (1) and (2). The amplitude of deflection of the beam over a specimen placed inside chamber (5) is substantially larger than the diameter of aperture (1). Leaking gas through aperture (1) is removed via port (7) by appropriate pumping apparatus. The size of aperture (1) is such that the pressure in chamber (6) combined with the supersonic jet and shock waves naturally forming therein do not result in catastrophic electron beam loss in chamber (6). The addition of appropriate detection means result in an instrument characterised by superior performance over prior art by way of better field of view at low magnification, better vacuum system and improved detection and imaging capabilities. L'invention concerne un instrument électronique à balayage ou un instrument à faisceau ionique capable de transférer le faisceau depuis une chambre sous vide élevée (8) jusqu'à une chambre sous haute pression (5) par l'intermédiaire d'une ouverture (1) et d'une ouverture (2). Ce faisceau est défléchi et balayé par des bobines (3) généralement placées entre les ouvertures (1 et 2). L'amplitude de défléchissement du faisceau au-dessus d'un spécimen placé à l'intérieur de la chambre (5) est supérieure au diamètre de l'ouverture (1). On supprime le gaz de fuite s'échappant par l'ouverture (1) par l'intermédiaire de l'orifice (7) au moyen d'un appareil de pompage approprié. Etant donné la dimension de l'ouverture (1), la pression de la chambre (6) combinée au jet supersonique et aux ondes de choc apparaissant naturellement dans ladite chambre, ne provoque pas de perte catastrophique de faisceau électronique dans ladite chambre (6). L'apport supplémentaire de moyens de détection appropriés permet d'obtenir un instrument caractérisé par des performances supérieures par rapport à l'état actuel de la technique, ce qui consiste en un champ de vision amélioré à un agrandissement limité, en un système de vide amélioré, ainsi qu'en des capacités de détection et d'imagerie optimisées.