A CLOSED-DRIFT HALL EFFECT PLASMA VACUUM PUMP FOR PROCESS REACTORS

A closed-drift Hall effect plasma vacuum pump includes one or more pumping conduits which are linked with a radial magnetic field. The magnetic field separates a plasma from a plasma at a higher pressure which is formed by cross-field plasma transport from a plasma processing region. La présente inv...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	QUON, BILL, H, ANTLEY, SAMUEL, MITROVIC, ANDREJ
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A closed-drift Hall effect plasma vacuum pump includes one or more pumping conduits which are linked with a radial magnetic field. The magnetic field separates a plasma from a plasma at a higher pressure which is formed by cross-field plasma transport from a plasma processing region. La présente invention se rapporte à une pompe à vide pour plasma à effet Hall et dérive fermée d'électrons comportant un ou plusieurs conduits de pompage qui sont associés à un champ magnétique radial. Le champ magnétique permet de séparer un plasma d'un plasma à une pression supérieure qui est formé par transport de plasma à champ transversal à partir d'une région de traitement du plasma.