ION SORCES

A closed loop exit aperture is formed in a magnetically permeable end wall (2) of an enclosure (1) of a closed electron drift ion source. Parts of this end wall separated by the exit aperture serve as pole pieces (7 and 8) of the magnetic system and define the first pole gap. The magnetic system inc...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KEEM, JOHN, E, ZELENKOV, VSEVOLOD, V, KRIVORUCHKO, MARK, M, ALEKSEEV, VALERY, V
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A closed loop exit aperture is formed in a magnetically permeable end wall (2) of an enclosure (1) of a closed electron drift ion source. Parts of this end wall separated by the exit aperture serve as pole pieces (7 and 8) of the magnetic system and define the first pole gap. The magnetic system includes pole pieces (9 and 10), which define the second pole gap made in the form of a closed loop exit aperture and arranged along the direction of ion emission. Magnetomotive force sources (5 and 6) are located in space between two groups of magnetic terminals. The ratio of width of each pole gap and distance between pole pieces of the first (7 and 8) and second (9 and 10) magnetic gaps along the direction of ion emission is not less than 0,05. The invention allows the intensity of the generated ion beam and the energy of ions to be increased, and this is provided by the homogeneous distribution of ion current density. Selon la présente invention, une ouverture de sortie à boucle fermée est formée dans une paroi (2) d'extrémité magnétiquement perméable d'un contenant (1) d'une source d'ions à courant d'électrons fermée. Des parties de cette paroi d'extrémité séparées par l'ouverture de sortie constituent des pièces polaires (7 et 8) du système magnétique et définissent le premier entrefer. Le système magnétique comprend des pièces polaires (9 et 10) qui définissent le deuxième entrefer produit sous la forme d'une ouverture de sortie à boucle fermée et disposé le long du sens d'émission ionique. Des sources de force magnétomotrice (5 et 6) sont disposées dans l'espace se trouvant entre deux groupes de terminaux magnétiques. Le rapport largeur de chaque entrefer / distance séparant les pièces polaires du premier entrefer polaire (7 et 8) et du deuxième (9 et 10) entrefer polaire le long du sens d'émission ionique n'est pas inférieur à 0,05. Cette invention permet à l'intensité du faisceau ionique généré et à l'énergie des ions d'être accrues grâce à la répartition homogène de la densité du courant ionique.