APPARATUS FOR AUTOMATICALLY MEASURING THE RESISTIVITY OF SEMICONDUCTOR BOULES USING THE METHOD OF FOUR PROBES

An apparatus for the automated measurement and recording of the electrical resistivity of a semiconductor boule or ingot using the method of four probes. A four point boule support grid is provided adjacent to the home position of a four tip probe equipped with three axis linear mobility, rotational capability, and computer control, to enable automated mapping and testing of an "as grown" or ground semiconductor boule with cropped ends, for obtaining and recording all necessary resistivity data. The apparatus converts resistivity data to ASTM standards and reads over a wide resistivity range. The apparatus has all data logging capabilities and full computer control interfaces, and adapts readily to a production line set-up with automated delivery and removal of boules under test. L'invention porte sur un appareil permettant de mesurer et d'enregistrer automatiquement la résistivité électrique d'une préforme ou d'un lingot à semi-conducteurs utilisant le procédé faisant appel à quatre sondes. Une grille de support de préforme à quatre points adjacente à la position de départ d'une sonde à quatre pointes dotée d'une mobilité linéaire à trois axes, d'une capacité rotative et d'une commande informatique afin de permettre le mappage et le test automatiques d'une préforme à semi-conducteurs /= ou à la terre aux extrémités découpées en vue de l'obtention et de l'enregistrement de toutes les données de résistivité nécessaires. L'appareil a pour mission de convertir les données de résistivité en normes ASTM et de lire une plus grande fourchette de valeurs de résistivité. L'appareil comporte toutes les fonctions d'enregistrement chronologique de données et toutes les interfaces de commande d'ordinateur. Il s'adapte à la configuration d'une chaîne de production à livraison et récupération automatisés de préformes soumises à un test.