METHOD AND DEVICE FOR VIBRATION CONTROL

Electrodes (111) extend over one or more sub-regions of the interior of the rectangle, and lead to reinforced pads (111a) or lands (111b) extending at the edge of the device. The electrodes are arranged in a pattern to contact a piezoelectric element along a broadly turning path, which crosses the full length. Frame members (120) are positioned about the perimeter of sheet (110) and at least one piezoelectric plat element (112) is situated in the central region so that it is contacted by the electrodes (111). The frame members serve as edge binding, so that the thin laminations do not extend to the edge, and they also function as thickness spacers for the hot-press assembly operation described further below, and as position-markers which define the location of piezo plates that are inserted during the initial stages of assembling the laminated package. L'invention concerne un système antivibrations comprenant un dispositif d'actionnement et permettant de remplacer entièrement le bloc de frottement tout en améliorant le temps de stabilisation, ce système pouvant également fonctionner conjointement avec le bloc de frottement, d'où une précision ou une vitesse de fonctionnement accrue. Dans un mode de réalisation préféré de l'invention, on utilise des techniques de modélisation dynamique spéciales pour analyser les mouvements structuraux et pour obtenir une commande de mouvement précise. Dans un autre mode de réalisation préféré, des actionneurs à contrainte induite sont mis en oeuvre sur des parties élastiques d'un étage de réticule lithographique en vue de réduire les perturbations des vibrations à large bande. On effectue le positionnement vertical de cet étage au moyen d'une commande de type PID, l'amortissement des vibrations élastiques étant réalisé au moyen d'une commande gaussienne quadratique linéaire.