VACUUM SENSOR
An apparatus and mehtod for measuring the vapor or gas content of a vacuum chamber (1) by a vapor sensor (21) located in the fore-line of a vacuum system is provide. The gas or vapor content is determined by first providing a zero condition for the sensor using the vacuum pump (25) and them referenc...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | An apparatus and mehtod for measuring the vapor or gas content of a vacuum chamber (1) by a vapor sensor (21) located in the fore-line of a vacuum system is provide. The gas or vapor content is determined by first providing a zero condition for the sensor using the vacuum pump (25) and them referencing the sensor response to the chamber gas during the evacuation cycle.
L'invention concerne un appareil et un procédé permettant de mesurer la quantité de vapeur ou de gaz contenue dans une chambre (1) à vide au moyen d'un détecteur (21) disposé à l'avant d'un système à vide. On détermine la quantité de gaz ou de vapeur en amenant d'abord le détecteur à l'état zéro via la pompe (25) à vide, puis en associant la réponse du détecteur au gaz contenu dans la chambre pendant le cycle d'évacuation. |
|---|