SYSTEMS AND METHODS FOR INSPECTION OF SPECIMEN SURFACES

Systems and methods for contact image sensor CIS based inspection of specimens are provided. A system configured to inspect a specimen may include a contact image sensor. The contact image sensor may include a light source configured to direct light toward a surface of the specimen and a linear sensor array configured to detect light returned from the surface. The system may further include a processor configured to determine a presence of defects on the surface using the detected light. A method for inspecting the specimen may include directing light from a light source toward a surface of the specimen and detecting light returned from the surface using a linear sensor array. The light source and the linear sensor array may be arranged in a contact image sensor. The method may further include determining a presence of defects on the surface from the detected light. L'invention concerne des systèmes et des procédés de détecteur d'image à contact sur l'inspection de spécimens. Un système configuré de manière à inspecter un spécimen peut comporter un détecteur d'image à contact. Ce détecteur d'image à contact peut lui-même comprendre une source lumineuse configurée afin de diriger la lumière vers une surface du spécimen et un réseau de détection linéaire conçu de manière à détecter la lumière réfléchie par la surface. Ce système peut également comprendre un processeur configuré afin de déterminer la présence de défauts à la surface en utilisant la lumière réfléchie. L'invention concerne également un procédé d'inspection du spécimen pouvant comporter la direction de la lumière à partir d'une source lumineuse vers une surface du spécimen et la détection de la lumière réfléchie par la surface au moyen du réseau de détection linéaire. La source lumineuse et le réseau de détection linéaire peuvent être placés dans un détecteur d'image à contact. Ce procédé comporte en outre la détermination de la présence de défauts à la surface, à partir de la lumière détectée.