GCIB SIZE DIAGNOSTICS AND WORKPIECE PROCESSING

Methods and apparatus for measuring the distribution of cluster ion sizes in a gas cluster ion beam (GCIB) (202) and for determining the mass distribution and mass flow of cluster ions in a GCIB processing system (200) without necessitating the rejection of a portion of the beam (202) through magnetic or electrostatic mass analysis. The invention uses time-of-flight measurement means (226) to estimate or monitor cluster ion size distribution either before or during processing of a workpiece (210). The measured information is displayed and incorporated in automated control of a GCIB processing system. Procédés et dispositifs servant à mesurer la distribution des dimensions d'agrégats ionisés dans un dépôt d'agrégats ionisés préformés en phase gazeuse (GCIB) (202) et à déterminer la distribution de masse et le débit massique d'agrégats ionisés dans un système de traitement par GCIB (200), sans qu'il soit nécessaire de rejeter une partie de ces agrégats (202) par l'intermédiaire d'une analyse de masse magnétique ou électrostatique. L'invention met en application des moyens de mesure de temps de vol (226) afin d'évaluer ou de contrôler la distribution dimensionnelle de ces agrégats ionisés, soit avant, soit pendant le traitement d'une pièce (210). L'information mesurée est affichée et incorporée dans la commande automatisée d'un système de traitement par GCIB.