HIGH GERMANIUM CONTENT WAVEGUIDE MATERIALS

Germanium-silicon oxide, germanium-silicon oxynitride and silica-germania-titania materials and oxynitride materials suitable for fabricating optical waveguides for liquid crystal based cross-connect optical switching devices have a refractive index of from about 1.48 to about 1.52 at 1550 nm, and a coefficient of thermal expansion at room temperature of from about 3 x 10 DEG C to about 4.4 x 10 DEG C. The compositions are adjusted so that the refractive index of the germanium-silicon oxide, germanium-silicon oxynitride or silica-germania-titania material is closely matched to the refractive index of a typical liquid crystal material whereby improved optical performance of a liquid crystal based cross-connect optical switching device is achieved. The coefficient of thermal expansion of the germanium-silicon oxide, germanium-silicon oxynitride, or silica-germania-titania material is closely matched to the coefficient of thermal expansion of silicon, whereby strain induced birefringence caused by thermal stresses is reduced or avoided. L'invention concerne l'oxyde de germanium-silicium, l'oxynitrure de germanium-silicium et des matériaux à base d'oxyde de silicium-germanium-titane ainsi que des matériaux à base d'oxynitrure appropriés pour fabriquer des guides d'ondes optiques pour un cristal liquide sur la base de dispositifs de commutation optique d'interconnexion présentant un indice de réfraction compris entre environ 1,48 et environ 1,52 à 1550 nm et un coefficient de dilatation thermique à température ambiante compris entre environ 3 x 10 DEG C et environ 4,4 x 10 DEG C. Les compositions sont ajustées de façon que l'indice de réfraction de l'oxyde de germanium-silicium, l'oxynitrure de germanium-silicium ou le matériau à base de silica-germania-titania soit étroitement allié à l'indice de réfraction d'un matériau typique à base de cristal liquide, ce qui permet d'obtenir un rendement optique amélioré pour un dispositif de commutation optique d'interconnexion à base de cristal liquide. Le coefficient de dilatation thermique de l'oxyde de germanium-silicium, de l'oxynitrure de germanium-silicium ou du matériau à base d'oxyde de silicium-germanium-titane est étroitement allié au coefficient de dilatation thermique du silicium, de façon que la biréfringence induite par déformation provoquée par les contraintes thermiques soit réduite ou supprimée.