TRAVELLING-WAVE GUIDE ELECTRO-OPTIC MODULATOR

A Mach-Zehnder type electro-optic modulator (1) based e.g. on GaAs/GaAIAs or InP/InGaAsP comprises coplanar stripline (CPS) electrodes (12a, 12b), and optical waveguides (5a, 5b), disposed on a conducting substrate (2) or a conducting epitaxial CPS electrodes (12a, 12b) are selectively rendered insu...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: HEATON, JOHN, MICHAEL, PARMITER, PHILIPPA, JULIE, MARIE
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A Mach-Zehnder type electro-optic modulator (1) based e.g. on GaAs/GaAIAs or InP/InGaAsP comprises coplanar stripline (CPS) electrodes (12a, 12b), and optical waveguides (5a, 5b), disposed on a conducting substrate (2) or a conducting epitaxial CPS electrodes (12a, 12b) are selectively rendered insulating by ion implantation (29) to electrically isolate the CPS electrodes from each other. La présente invention concerne un modulateur (1) électro-optique de type Mach-Zehnder à base de GaAs/GaAIAs ou de InP/InGaAsP par exemple, qui comprend des électrodes (12a, 12b) stripline coplanaires (CPS) et des guides d'onde (5a, 5b), placés sur un substrat (2) conducteur ou sur des électrodes (12a, 12b) CPS épitaxiales conductrices, ces deux structures étant sélectivement rendues isolantes par une implantation (29) ionique de façon à isoler électriquement les électrodes CPS les unes par rapport aux autres.