METHOD AND APPARATUS FOR HIGH RESOLUTION COHERENT OPTICAL IMAGING

A method and an apparatus for examining the sub-surface microstructure of a sample are provided. Radiation from a plurality of optical radiation sources travels along a first optical path. In the first optical path, a device focuses the optical radiation from each of the optical sources into a plurality of respective focal points along the first optical path to provide substantially continuous coverage of a selected portion of the first optical path. Then, a sample on the first optical path within the selected length extending into the sample is scanned along said selected portion of the first optical path. Cette invention a trait à une technique et à l'appareil correspondant permettant d'examiner la microstructure sub superficielle d'un échantillon. Un rayonnement émanant de plusieurs sources de rayonnement se déplace le long d'un premier trajet optique. Dans ce premier trajet optique, un dispositif focalise le rayonnement optique émanant de chaque source dans plusieurs points focaux le long dudit trajet afin d'assurer une couverture quasiment continue d'une partie sélectionnée de celui-ci. De la sorte, un échantillon se trouvant à l'intérieur de la partie sélectionnée du premier trajet optique est scanné dans toute cette partie sélectionnée.