METHODS AND APPARATUS FOR MAINTAINING A PRESSURE WITHIN AN ENVIRONMENTALLY CONTROLLED CHAMBER

A system including a chamber; (102) a variable speed vacuum pump (204) coupled to the chamber; and a pressure controller (202) coupled to the chamber. The pressure controller (202) compares a set point pressure with a pressure measurement for the chamber and adjusts a flow of gas through the pressur...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VERDICT, GREGORY, S, PFEIFFER, KENNETH, E
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A system including a chamber; (102) a variable speed vacuum pump (204) coupled to the chamber; and a pressure controller (202) coupled to the chamber. The pressure controller (202) compares a set point pressure with a pressure measurement for the chamber and adjusts a flow of gas through the pressure controller based on a difference between the pressure measurement and the set point pressure. The system includes a pressure measurement device coupled (126) to the chamber and to the pressure controller, and a main controller coupled to the variable speed vacuum pump, the pressure controller and the pressure measurement device. The pressure measurement device measures a pressure within the chamber and provides a pressure measurement to the pressure controller and the main controller. The main controller adjusts a speed of the variable speed vacuum pump (204); and provides the set point pressure to the pressure controller. Dans un premier aspect, un système comporte (1) une chambre; (2) une pompe à vide à vitesse variable couplée à cette chambre; et (3) un régulateur de pression couplé à cette chambre. Le régulateur de pression compare une pression à point de consigne avec une mesure de pression de la chambre et règle un écoulement de gaz à travers le régulateur de pression sur la base d'une différence entre la mesure de pression et la pression à point de consigne. Ce système comprend un dispositif de mesure de pression couplé à la chambre et au régulateur de pression ainsi qu'une partie commande principale couplée à la pompe à vide à vitesse variable, au régulateur de pression et au dispositif de mesure de pression. Ce dispositif de mesure de pression mesure une pression à l'intérieur de la chambre et fournit une mesure de pression au régulateur de pression et à la partie commande principale. Cette partie commande principale (1) règle la vitesse de la pompe à vide à vitesse variable; et (2) transmet la pression à point de consigne au régulateur de pression.