PLASMA REACTOR WITH A TRI-MAGNET PLASMA CONFINEMENT APPARATUS

A plasma reactor includes a chamber adapted to support an evacuated plasma environment, a passageway connecting the chamber to a region external of the chamber, the passageway being defined by spaced opposing passageway walls establishing a passageway distance therebetween, and a plasma-confining ma...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: QUILES, EFRAIN, NOORBAKHSH, HAMID, CARDUCCI, JAMES, D
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A plasma reactor includes a chamber adapted to support an evacuated plasma environment, a passageway connecting the chamber to a region external of the chamber, the passageway being defined by spaced opposing passageway walls establishing a passageway distance therebetween, and a plasma-confining magnet assembly adjacent the passageway. The plasma-confining magnet assembly includes a short magnet adjacent one of the passageway walls and having opposing poles spaced from one another by a distance which a fraction of the gap distance, the short magnet having a magnetic orientation along one direction transverse to the direction of the passageway, and a long magnet adjacent the other one of the opposing passageway walls and generally facing the short magnet across the passageway and having opposing poles spaced from one another along a direction transverse to the passageway by a pole displacement distance which is at least nearly as great as the gap distance, the long magnet having a magnetic orientation generally opposite to that of the short magnet. Cette invention se rapporte à un réacteur à plasma, qui comprend une chambre pouvant prendre en charge un milieu ambiant de plasma sous vide, un passage reliant cette chambre à une zone extérieure à la chambre et défini par des parois de passage opposées espacées établissant une distance de passage entre elles, ainsi qu'un ensemble à aimant de confinement du plasma, adjacent audit passage. L'ensemble aimant de confinement du plasma contient un aimant court adjacent à l'une des parois de passage et présente des pôles opposés espacés l'un de l'autre sur une distance qui est une fraction de la distance de l'entrefer, l'aimant court ayant une orientation magnétique dans une direction transversale à la direction du passage, et un aimant long adjacent à l'autre paroi de passage opposé et faisant généralement face à l'aimant court à travers le passage et comportant des pôles opposés espacés l'un de l'autre sur une direction transversale au passage, cet espacement équivalant à une distance de déplacement des pôles qui est au moins aussi étendue que la distance de l'entrefer, l'aimant long ayant une orientation magnétique généralement opposée à celle de l'aimant court.