HIGH FILL-FACTOR MICROLENS ARRAY AND FABRICATION METHOD

A transparent, refracting material (52) is disposed atop an opto-electronic substrate device (50). Such refracting material has formed therein a plurality of microlenses (40) arranged in a regular, tessellated pattern, which is superimposable on a regular tiling pattern of polygonal cells, attached to one another at defining polygonal borders. The contours of the refractive microlens' surface have rotational symmetry within each cell about an axis, with the symmetric contour maintaining its symmetry substantially at every surface point within the cell's borders. The microlens surface is fabricated by printing a contour into a photoresist (54) using grey scale photolithography, then transferring the contour (42) into an underlying refractive planarizing material (52), suitably by ion etching. The method produces a microlens array in which each microlens (40) maintains its symmetric contour (42) substantially across a polygonal cell, thus achieving almost unity fill factor without significant aberrations. Une matière réfringente transparente (52) est déposée au sommet d'un dispositif à substrat optoélectronique (50). Ladite matière réfringente comprend une pluralité de micro-lentilles (40) formant un motif en mosaïque régulier pouvant être superposé sur un motif tessellé régulier de cellules polygonales, reliées les unes aux autres au niveau de frontières polygonales déterminantes. Les contours de la surface des micro-lentilles de réfraction présentent une symétrie de révolution autour d'un axe au sein de chaque cellule, le contour symétrique conservant sa symétrie pratiquement en tout point de surface à l'intérieur des frontières de la cellule. On fabrique la surface des micro-lentilles en imprimant un contour dans une photorésine (54) par photolithographie à niveaux de gris puis en transférant ledit contour (42) dans une matière réfringente de planarisation sous-jacente (52), de préférence par attaque ionique. Ledit procédé permet de produire une matrice de micro-lentilles dans laquelle chaque micro-lentille (40) conserve son contour symétrique (42) pratiquement sur toute la surface d'une cellule polygonale, ce qui permet d'obtenir un taux de remplissage unitaire sans aberrations significatives.