CHEMICAL METHOD FOR REMOVAL AND ANALYSIS OF BORON IMPURITIES IN TETRAETHYLORTHOSILICATE (TEOS)

CHEMICAL METHOD FOR REMOVAL AND ANALYSIS OF BORON IMPURITIES IN TETRAETHYLORTHOSILICATE (TEOS)

A method of purifying tetraethylorthosilicate (TEOS) to remove boron impurities therefrom, and a related method of analyzing TEOS to determine concentration of boron impurities therein. La présente invention concerne un procédé permettant de purifier du tétraéthylorthosilicate (TEOS) afin d'en...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: XU, CHONGYING, BAUM, THOMAS, H, BENAC, BRIAN, L, BATTLE, SCOTT, L, BERNHARD, DAVID, DANIEL, HEDGES, FRANK, R, LANSDOWN, JOHN, M
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAININGELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN,SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
CHEMISTRY
METALLURGY
ORGANIC CHEMISTRY
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method of purifying tetraethylorthosilicate (TEOS) to remove boron impurities therefrom, and a related method of analyzing TEOS to determine concentration of boron impurities therein. La présente invention concerne un procédé permettant de purifier du tétraéthylorthosilicate (TEOS) afin d'en éliminer les impuretés de bore, ainsi qu'un procédé correspondant permettant d'analyser le TEOS afin de déterminer sa concentration en impuretés de bore.