DIFFERENTIAL-PRESSURE MEASURING CELL

Bei einer Differenzdruck-Messzelle mit einer Messmembran (7), welche zu beiden Seiten mit einem Fluid beaufschlagbar ist, welches über jeweils einen Messanschluss (2, 17) mit jeweils einer Seite der Messmembran (7) in Verbindung steht, ist beiden Seiten des Messmembran (7) jeweils eine zusätzliche verformbare Hilfsmembran (4,16) zugeordnet, deren jeweils einem Messanschluss (2, 17) zugewandte Seite mit der Messmembran (7) in offener Verbindung steht und deren jeweils diesem Messanschluss (2, 17) zugewandte Seite eine Dichtfläche (23, 24) trägt, welche bei Verformung der Hilfsmembran (4, 16) in dichtende Anlage an den Messanschluss (2, 17) verformbar ist. Die Messmembran (7) und die Hilfsmembranen (4, 16) sind als strukturierte Schichten eines Chips ausgebildet und bestehen im wesentlichen aus Si bzw. Polysilizium und/oder Glas. The invention relates to a differential pressure measuring cell comprising a measuring membrane (7) which can be impinged on both sides by a fluid. Said fluid comes into contact with each side of the measuring membrane (7) via a respective measuring connection (2, 17). According to the invention, a respective additional deformable auxiliary membrane (4, 16) is allocated to both sides of the measuring membrane (7). Each side of said auxiliary membrane that faces a measuring connection (2, 17) is in open contact with the measuring membrane (7) and has a sealing surface (23, 24) which can be deformed during the deformation of the auxiliary membrane (4, 16) to lie against the measuring connection (2, 17) in a sealing manner. The measuring membrane (7) and the auxiliary membranes (4, 16) are configured as structured layers of a chip and consist substantially of Si or polysilicon and/or glass. L'invention concerne un capteur de pression différentielle comprenant une membrane de mesure (7), qui peut recevoir des deux côtés un fluide en liaison avec chacune des faces de la membrane de mesure (7) par l'intermédiaire d'un raccord de mesure (2, 17) correspondant. L'invention est caractérisée en ce que sur les deux faces de la membrane de mesure (7) est disposée une membrane auxiliaire (4,16) supplémentaire déformable, dont la face orientée vers un raccord de mesure (2, 17) est en liaison ouverte avec la membrane de mesure et comporte une surface d'étanchéité (23, 24). Lors de la déformation de la membrane auxiliaire (4, 16), cette surface d'étanchéité peut être déformée et mise en position d'étanchéification contre le raccord de mesure (2, 17)