BIOCIDES FOR POLISHING SLURRIES

Compounds containing both a sulfur and a nitrogen in a five-membered ring structure are used as biocides in polishing solutions and slurries. L'invention concerne des composés contenant à la fois du soufre et de l'azote dans une structure de noyau à cinq chaînons, utilisés comme biocides d...

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Hauptverfasser: LUO, QIULIANG, YE, QIANQIU, (CHRISTINE), GOLDBERG, WENDY, B
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Compounds containing both a sulfur and a nitrogen in a five-membered ring structure are used as biocides in polishing solutions and slurries. L'invention concerne des composés contenant à la fois du soufre et de l'azote dans une structure de noyau à cinq chaînons, utilisés comme biocides dans des solutions et des pâtes de polissage.