METHODS AND APPARATUS FOR OPERATING HIGH ENERGY ACCELERATOR IN LOW ENERGY MODE

Methods and apparatus are provided for efficiently operating an ion implanter which includes a charged particle accelerator in a high energy mode and in a low energy mode. The charged particle accelerator includes a high voltage power supply, an accelerator column coupled to the high voltage power supply and a switching assembly. The accelerator column includes a plurality of accelerator electrodes. The high voltage power supply is disabled from energizing the accelerator column in the low energy mode. The switching assembly includes switching elements for electrically connecting the accelerator electrodes to a reference potential in the low energy mode and for electrically isolating the accelerator electrodes from the reference potential in the high energy mode. The switching assembly prevents positive potentials on the accelerator electrodes and thus minimizes space charge expansion of the beam when transporting positive ion beams in the low energy mode. L'invention concerne des procédés et des appareils permettant de faire fonctionner de manière efficace un implanteur ionique comprenant un accélérateur chargé de particules fonctionnant en mode haute énergie et en mode faible énergie. Cet accélérateur est constitué d'une source haute tension, d'une colonne accélérateur couplée à la source haute tension et d'un ensemble de commutation. La colonne accélérateur comprend une pluralité d'électrodes accélérateur. La source haute tension est activée par la mise sous tension de la colonne accélérateur en mode faible énergie. L'ensemble de commutation comprend des éléments de commutation permettant de relier électriquement les électrodes accélérateur à un potentiel de référence en mode faible énergie ainsi que d'isoler électriquement les électrodes accélérateur du potentiel de référence en mode haute énergie. L'ensemble de commutation empêche l'apparition des potentiels positifs sur les électrodes accélérateur et minimise par conséquent l'expansion de la charge spatiale du faisceau lors du transport de faisceaux ionique positifs en mode faible énergie.