SYSTEM AND METHOD FOR PURIFYING AND DISTRIBUTING CHEMICAL GASES
Distribution system (810) vaporizes and purifies a liquefied gas from bulk tank (800) to produce ultrapure chemical gases for user station (805). Bulk tank (800) is in flow communication with a vaporization purification bed (802) that generates the ultrapure chemical gas, which is subsequently route...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | Distribution system (810) vaporizes and purifies a liquefied gas from bulk tank (800) to produce ultrapure chemical gases for user station (805). Bulk tank (800) is in flow communication with a vaporization purification bed (802) that generates the ultrapure chemical gas, which is subsequently routed to buffer tank (804), before passage to the user station (805). The pressure and temperatuer in vaporization purification bed (802) are controlled so that droplets formed by a spray nozzle evaporate very rapidly and are converted into gas, while impurites in the liquid are left behind in the form of solid particles.
L'invention concerne un système de distribution (810) qui permet de vaporiser et de purifier un gaz liquéfié, à partir d'une citerne à gaz (800), afin de produire des gaz chimiques ultrapurs destinés à un poste de traitement utilisateur (805). Cette citerne (800) est en communication fluidique avec un lit de vaporisation/purification (802), lequel produit le gaz chimique ultrapur ultérieurement acheminé vers un réservoir tampon (804), avant d'être dirigé vers le poste de traitement utilisateur (805). La pression et la température du lit de vaporisation/purification (802) sont régulées de manière que les gouttelettes formées par une buse de vaporisation s'évaporent très rapidement et se convertissent en gaz, tandis que les impuretés contenues dans le liquide sont laissées derrière, sous la forme de particules solides. |
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