SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCT YIELD PREDICTION

A system and method for predicting yield of integrated circuits includes at least one type of characterization vehicle which incorporates at least one feature which is representative of at least one type of feature to be incorporated in the final integrated circuit product. The characterization vehicle is subjected to at least one of the process operations making up the fabrication cycle to be used in fabricating the integrated circuit product in order to produce a yield model. The yield model embodies a layout as defined by the caracterization vehicle and preferably includes features which facilitate the gathering of electrical test data and testing of prototype section at operating speeds. An extraction engine extracts predetermined layout attributes from a proposed product layout. Operating on the yield model, the extraction engine produces yield predictions as a function of layout attributes and broken down by layers or steps in the fabrication process. These yield predictions are then used to determine which areas in the fabrication process require the most improvement. L'invention concerne un système et un procédé de prévision du rendement de circuits intégrés, comportant au moins un type de moyen de caractérisation comprenant au moins une fonction caractéristique d'au moins un type de fonction devant être incorporée dans le produit à circuit intégré final. Le moyen de caractérisation est soumis à un moins une des opérations entrant dans le cycle de fabrication devant être utilisé pour la fabrication du produit à circuit intégré, afin de produire un modèle de rendement. Le modèle de rendement représente une implantation comme défini par le moyen de caractérisation et comporte de préférence des fonctions facilitant le regroupement de données d'essai électrique et l'essai de parties prototypes à des vitesses de fonctionnement. Un dispositif d'extraction extrait des attributs d'implantation prédéterminés à partir d'implantations de produits proposées. Appliqué au modèle de rendement, le dispositif d'extraction produit des prévisions de rendement en tant que fonctions des attributs d'implantation, les prévisions de rendement étant interrompues par des couches et des étapes du processus de fabrication. Ces prévisions de rendement sont ensuite utilisées pour déterminer quelles zones du processus de fabrication nécessitent les plus grandes améliorations.